Kapazitiver Touch Schalter statt physischer Schalter

Gut, wenn du nur mit RFIDs wecken möchtest, dann relativiert sich das ein wenig.

Dennoch: Hängt man das an sw3.3, dann ist es so, dass die 3.3 V im Moment, wenn der ESP32 in den Deepsleep geht, weggeschaltet werden. Damit verschwindet das HIGH an den PE-Eingängen, an denen deine Touch-Buttons hängen und es kann passieren, dass das Ganze als Tastendruck gewertet wird und der ESP32 direkt wieder aufwacht.
Ist das der Fall und du willst es dennoch durchziehen, dann gibt es einen Workaround.